院级团队——微纳关键功能器件高速增减材精密制造--检测技术团队
来源: 时间:2022-06-13 浏览:

团队负责人:王晗

团队成员:王晗、尹自强、赵翼翔、张平、王素娟、董永超、吴佩萱、王瑞洲、孙占文、李克天、曾俊、朱自明、房飞宇

研究方向:

1)超精密制造装备与制造工艺:主要面向超精密静压回转类轴承的设计与制造;同时研究超精密平面导轨与平台的设计与研究。(2)超精密检测技术与关键检测基础部件研究:研究超精密扫描测量的误差分离方法及光学表面轮廓重构算法,深入探索超精密光栅尺的设计方法及测量技术。(3)超精密增减材加工工艺与微纳器件设计实现:微结构阵列超精密增减材加工机理和功能保障方法;面向电子制造的微纳增材加工装备的研制与应用。

研究成果:

近五年,团队在超精密制造装备、超精密检测技术、超精密加工工艺和微纳器件制造工艺及装备四个主要研究方向,发表SCI论文29篇,EI论文7篇;申请发明专利140件,其中授权48件,申请并授权实用新型专利12件;参与制定企业标准3个。获批国家、省市级科研项目5项,总经费超2000万元。获得国家专利奖优秀奖1项,中国机械工业奖二等奖1项,广东省科学技术奖一等奖1项,国家技术发明奖二等奖1项。